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大型仪器介绍--J51152/ZF型自动砂轮划片机
2013-05-17 12:53  

 

主要技术指标:
硅片最大加工尺寸: Φ 152.4 mm 6"
X
轴(工作台左右行程):最大行程: 200 mm  

工作行程范围:20 160 mm
切割速度分两级:进给:0.1 70 mm /s ,回程: 70 mm /s

进给:0.1 300 mm /s  

回程: 300 mm /s
Y
轴(主轴前后行程):最大行程: 160 mm  

步进分辨率: 0.002 mm
最大步进速度: 30 mm /s  

定位精度: 0.005 mm
Z
轴(主轴升降行程):最大行程: 19 mm (以Φ 50 mm 的刀盘为准)

步进分辨率: 0.002 mm
Θ
轴(工作台旋转)手动旋转,旋转范围:90o ± 30"(可微调)

主轴:形式: 直接驱动, 空气静压, 三相AC 220 V
速度:1000035000 r/min (通常定在30000 r/min

功率:400W; 主轴旋转面跳动(静压): 0.002 mm
7
、参数的范围:方式 :45;只有45; 切割矩形方式

切割速度: 1mm /sec 300.00mm /sec; 高速档
0.1mm /sec
70.00mm /sec;低速档
返回速度: 1mm /sec 300.00mm /sec;高速档
0.1mm /sec
70.00mm /sec;低速档
方向1间距: 0.002mm 99.998mm ;方向1Y向间距
方向2间距: 0.002mm 99.998mm ;方向2Y向间距
方向1行程: 000.00mm 155.00mm ;被划片矩形边长1
方向2行程: 000.00mm 155.00mm ;被划片矩形边长
2
留厚: 0.02 mm 18mm Z方向被划片子保留的厚度

厚度: 0.02 mm 18mm Z方向被划片子的厚度    

价值:19.0万元
生产厂家:西安捷盛电子技术有限公司 

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