主要技术指标:
样品台直径:
140mm
扫描长度行程:0.05~
20mm
样品厚度:最大
20mm
样品台位置:固定
垂直分辨率:1.5? /10μm; 15 / 100μm;62 / 400μm
横向分辨率:100nm(由探针确定)
垂直行程:最大400um
步高重复性:10, 或步高的 0.1%
每次扫描最大数据点数:60,000
样品观察:彩色相机
标称放大倍数:100X
探针尖端半径:2.0μm
探针压力范围:0.05-10mg可调
价值:4.5万USD
生产厂家:美国AMBIOS公司